夏春秋的左手不停地敲著桌面，整個人處於一種極度亢奮的狀態。他甚至站不住，在操作台前來回走了兩步，又折回來盯著屏幕，生怕自己看錯了。
沒看錯。
理論仿真的數據完全自洽。深寬比做到了20:1，孔徑控制在5微米以內，側壁粗糙度小於15納米。
更關鍵的是，整條工藝路線用的原料和設備，不需要依賴任何一家海外獨占的供應商。
氣體配比方案是他自己調的，刻蝕化學品的配方是他從巴斯夫時期積累的經驗基礎上重新設計的，用的是市面上能買到的標準前驅體。
「導師！」
站在他身後三米遠的地方，博士生周翰林已經喊了三遍了。
夏春秋充耳不聞。
周翰林往前挪了兩步，又喊了一聲：「導師，您別太激動了，血壓……」
「別跟我提血壓！」夏春秋頭都沒回，一隻手在空氣中揮了一下，「你懂什麼叫激動嗎？你這輩子有過這種心情嗎？」
周翰林縮了縮脖子，老實說真沒有。
加入紅星才開始做項目，還沒什麼成果出現，哪來的激動……
「你們幾個都過來。」夏春秋指著屏幕對兩個學生說：「你們兩個過來看，看清楚了，這個截面圖，20:1的深寬比，側壁角度89.7度，你們知道這意味著什麼嗎？」
周翰林湊上去看了看，確實很漂亮。孔打得又直又深，乾脆利落。
可問題是……
「導師，我知道這個數據很好看，但是，不就是在矽片上打孔嗎？」
周翰林撓了撓頭，儘量讓自己的語氣聽起來不那麼無知，「咱們實驗室從去年就在做這個方向，花了這麼長時間終於把工藝跑通了，我理解您高興，但這個技術具體能用在哪兒呢？」
夏春秋愣了一下。
對啊，能用在哪呢？
低頭看了看自己的數據，又看了看屏幕上的三維模型，腦子飛速運轉。
說實話，他也不太清楚。
作為一個化學出身的人，他的核心能力是搞定工藝本身，怎麼讓化學反應精確可控、怎麼在極端條件下保持材料特性、怎麼用氣相沉積和刻蝕的組合把微觀結構做到極致。
至於這個微觀結構做出來以後能幹什麼，那是半導體設計和封裝工程師的事情。
但夏春秋的直覺告訴他，這個東西不簡單。
能在矽片上打出這種精度的通孔，意味著可以在矽片的正面和背面之間建立垂直電氣連接。
上下兩層晶片就不需要通過傳統的引線鍵合來通信了，直接穿過矽片本身，信號路徑可以縮短數倍。
這個概念他不是第一次接觸，學術界叫TSV，矽通孔技術。
理論上講了很多年了，但真正做到量產級工藝精度的，全世界也沒幾家。
當然，夏春秋不確定自己的這個理論是不是在工程上走得通。
理論和實際之間隔著十萬八千里，中間有多少材料問題、良率問題、設備問題，他需要真正做工藝實驗才知道。
但至少，化學這一關完成了。
理論基礎有了。
「不知道。」夏春秋非常坦誠地回答了周翰林的問題。
兩個學生是面面相覷。
不知道？那您老這麼激動個什麼勁？
「我不知道具體能用在哪，但我知道這條工藝路線本身的價值。」夏春秋在椅子上坐下來，「你們想想，全世界做矽通孔的，工藝路線基本上被日本和霉國的幾家公司壟斷了，他們的核心壁壘不是設備，是化學配方和工藝參數。」
「現在我手上有一條完全獨立開發的路線，不依賴他們的化學品專利，不依賴他們的設備耗材，數據還比他們公開發表的論文裡的好。」
「這個東西值多少錢我算不清楚，但我知道一件事，得趕緊去找陳總。」
說干就干，讓周翰林把化學分子數據導出來做了三份備份，又把實驗日誌從頭到尾整理了一遍。
自己回到辦公室坐在電腦前開始寫匯報文檔。
寫了兩行就停住了。
不行，這樣寫陳總看不懂。
夏春秋在巴斯夫幹了十幾年，寫技術報告的習慣是極其學術化的。
開頭先綜述，然後文獻引用，再列公式推導，最後實驗數據對比分析。
格式標準，邏輯嚴謹，除了同行以外沒有任何人類能看進去。
沒錯，是任何人類，不是任何人。
這次是做企業的，不是搞化學的。
夏春秋把文檔刪了，重新開始寫。
這次他換了一種方式。
標題：《關於矽通孔化學工藝路線的重大突破，非常重要，請陳總務必看完》
正文第一句：我在矽片上打了一個全世界最直的孔。
寫完這句話，夏春秋自己看了一遍，嗯，意思到了，但是不是太直白了一點。
全世界最直的孔……
不過無冬大師這會也懶得改了，接著寫道：
「陳總，經過八個月的攻關，我們的化學工藝團隊完成了一條全新的化學刻蝕工藝路線的理論驗證。用大白話來說就是，我們找到了一種方法，可以在矽片上從上往下打出一個極其標準、極其筆直、極其深的孔，而且這個方法完全不需要依賴海外的化學品配方專利。
目前這個成果只走到了理論仿真階段，還沒有做出真正的實物。下一步我需要申請資金做實際的工藝驗證，同時需要和陸遠江教授的團隊對接，看看這條路線在哪些晶片封裝場景下最有價值。」
寫完正文以後，夏春秋翻到最後一頁，開始寫預算申請。
這是最讓他糾結的部分。
做工藝驗證要採購特種化學品，要做矽片加工試驗，要用刻蝕設備進行多輪參數驗證，每一輪的耗材成本都不低。
而且矽通孔的工藝驗證不是做一兩次就夠的，至少要跑二十到三十個批次，才能確認良率窗口和工藝穩定性。
算來算去，最低也得兩千多萬。
往上打點餘量呢？萬一中間設備出問題、材料批次不一致、需要額外增加實驗組呢？
夏春秋咬了咬筆帽，在預算那一欄填了一個數字：3000萬元人民幣。
填完以後又看了看，有點心虛，改成了5000萬。