顧長明失魂落魄地盯著那台銀白色的巨獸。
他始終不敢相信,那是5納米的光刻機。
夏國的工業底子是什麼樣,沒人比他更清楚。
即是那行中文銘牌像耳光一樣貼在他臉上。
他那構建了三十年的認知堡壘,依舊在負隅頑抗。
「顧長明,看夠了嗎?」
牛一文火爆的聲音傳來,
「看夠了就讓你的人動起來,別耽誤正事。」
顧長明猛地回神,轉過頭。
「我不信,我要驗機。」
顧長明指著那台機器質問道,
「連高端軸承鋼都要進口,憑什麼造出EUV?憑什麼?」
「萬一是個空殼子?萬一裡面裝的是32納米改的呢?」
「不通電,不跑片,我不信!」
牛一文剛準備繼續痛罵,林辰卻抬手攔住了他。
林辰淡淡一笑。
「真金不怕火煉。」
林辰語氣十分隨意「既然顧所長不見棺材不落淚,那就讓他見見。」
「不過,顧所長,讓你的人動作快點。」
隨後顧長明效率驚人。
或者說,為了證明自己是對的。
為了證明夏國不可能有這種「神跡」。
他爆發出了前所未有的執行力。
備用實驗室在二十分鐘內被徹底清空。
趙德發一揮手。
全副武裝的工程兵迅速上前,配合重型吊裝設備,開始作業。
那台刻著「星辰科技」銘牌的機器,被穩穩安置在實驗室中央。
實驗室大門轟然關閉。
厚重的防輻射玻璃牆外,擠滿了研究所的技術骨幹。
每個人的臉上都寫滿了忐忑。
還有藏在眼底,那股不敢說出口的期盼。
無塵實驗室內。
顧長明穿上了全套防塵服,只露出一雙銳利得嚇人的眼睛。
他站在主控台前。
「聽好了。」
聲音通過麥克風傳遍全場。
「按照AML最嚴格的出廠標準測。」
「光源系統、雙工件台精度、物鏡數值孔徑……每一個參數,都給我核實三遍!
「只要有一個不達標,立刻停機!」
觀察室里。
趙德發突然開始緊張起來,「林辰,穩得住嗎?」
「顧所長這人雖然愛炫耀,但在技術上可是出了名的軸。。」
林辰表情十分輕鬆:「趙局,您就當是在看一場猴戲好了。」
實驗室內。
顧長明深吸一口氣。
手指顫抖著按下了那個紅色的啟動鍵。
嗡——!
低沉的轟鳴聲響起。
聲音渾厚,帶著一種直擊靈魂的穿透力。
那是大功率極紫外光源被激發時特有的聲浪。
如同深海巨鯨的低吟。
「供電系統正常!」
「真空腔體壓力正常!」
「冷卻系統介入……溫度恆定22攝氏度,誤差0.01度!」
技術員的聲音越來越高亢。
帶著明顯的顫音。
唰!
機身上,數萬個狀態指示燈瞬間被點亮。
全綠。
沒有一個紅燈報警。
這種工業暴力美學帶來的視覺衝擊,讓玻璃牆外的所有人都下意識地屏住了呼吸。
「切入自檢模式,調出光學參數!」
顧長明死咬著牙關下令。
大屏幕上,數據流瘋狂刷屏。
「數值孔徑(NA):0.33……」
「所長,這……這是標準EUV的參數。」
顧長明死死盯著屏幕:
「別急!看光源!光源才是核心!」
「那是造假造不出來的!」
EUV光刻機,難就難在光源。
那需要用大功率雷射轟擊錫滴,產生13.5納米的極紫外光。
這個過程對能量控制的要求,相當於在狂風暴雨中。
站在過山車上用機槍打中一隻蚊子的左眼。
西方最頂級的機型,也不過250瓦。
屏幕上的數據條開始瘋狂向上攀升。
100W……
200W……
瞬間突破了顧長明認知的極限。
250W!
「到了!」顧長明低吼,「這就是極限了!哪怕是AML……」
話音未落。
數據猛地又向上竄了一大截。
300W!
400W!
最終定格。
【LPP光源即時輸出功率:500W】
啪嗒。
顧長明手中的特製防靜電記錄筆掉在了地上,摔成了兩截。
「五……五百瓦?」
旁邊那個負責光源檢測的技術員,像是見了鬼一樣,
「所長,我是不是眼花了?」
「這比AML最先進的還要高一倍?」
500W意味著什麼?
意味著曝光速度翻倍,意味著良品率的大幅提升!
這是西方夢寐以求卻遲遲無法攻克的技術高地!
現在,就在這間備用實驗室里。。
在這台國產機器里,輕描淡寫地實現了?
「假的……一定是軟體造假……」
顧長明還在喃喃自語,
「我不信……這是提前寫好的程序……」
「起開!」
一直站在旁邊的牛一文一巴掌把他推開。
「磨磨唧唧!看個屁的數據!」
老院士雙手在鍵盤上飛舞。
「上晶圓!」
牛一文一聲令下。
機械臂無聲地滑動,將一片早已準備好的12英寸矽晶圓送入曝光台。
「加載5納米邏輯電路掩膜版!」
「對準!」
「曝光!」
嗤——
極其輕微的聲響。
高能光束轟擊光刻膠。
這也是顧長明這輩子聽過的,最悅耳的聲音。
短短十幾秒。
「曝光完成。」
牛一文沒有絲毫停頓,操作行雲流水:
「顯影!上電鏡!」
實驗室里沒人說話,只有機器運轉的細微嗡鳴。
所有人的目光都集中在那塊巨大的顯示屏上,那裡連接著那台千萬級的電子顯微鏡。
屏幕亮起。
圖像開始放大。
100倍……1000倍……10000倍……
原本光滑的晶圓表面,在微觀世界裡展現出了它的真容。
那是一座迷宮。
一座精密到令人窒息的、由無數條納米級線路構成的宏偉迷宮。
線條筆直,邊緣銳利。
沒有毛刺,沒有斷裂。
完美。
只能用完美來形容。
屏幕右下角,實測數據跳出。
【線寬:4.98 納米】
死寂。
整個研究所陷入真空般的死寂。
這已經不是打臉了。
這是降維打擊。
這是把西方引以為傲的半導體技術壁壘,按在地上摩擦。
顧長明看著那個「4.98 納米」。
從他大學畢業進入這一行開始,整整三十年。
他聽過太多嘲諷。
「你們夏國人造不出光刻機。」
「EUV?下輩子吧。」
......
他習慣了低頭,習慣了求人。
習慣了花幾倍的價錢買人家淘汰的工業垃圾,還要陪著笑臉說謝謝。
他以為這輩子都要這麼過了。
他以為夏國的半導體,註定要在黑暗裡摸索很久很久。
可是今天。
此時此刻。
天亮了。
「噗通。」
顧長明雙膝一軟,重重地跪在了堅硬的防靜電地板上。
他沒有去擦眼淚,任由那些滾燙的液體肆意流淌。
「嗚……」
起初只是壓抑的嗚咽。
緊接著,聲音越來越大,越來越無法控制,仿佛要將這半輩子的委屈全部哭出來。
「啊!!!」
顧長明跪在那台光刻機面前,嚎啕大哭。
哭得撕心裂肺,哭得肝腸寸斷。
他是個體面人,是所長,是受人尊敬的專家。
但這一刻,他只想哭。
為自己的有眼無珠,為那台被他視若珍寶的28納米的洋垃圾而哭。
更為這三十年的屈辱,一朝雪恥而哭!
「顧所……」
旁邊技術員想去扶他,卻被牛一文攔住了。
牛一文看著跪地痛哭的顧長明,眼眶也紅了。
他沒說話,只是伸手拍了拍顧長明的肩膀,力道很重。
「哭吧。」
「哭出來就好了。」
「這口氣,咱們憋得太久了。」
玻璃牆外,不知道是誰先開始的。
一個人摘下了眼鏡,抹起了眼淚。
接著是第二個,第三個……
整個走廊里,只有壓抑的啜泣聲。
那不是悲傷。
是喜極而泣。
是黑暗中行走了太久的旅人,終於看到太陽時的驚喜。
觀察室內。
趙德發紅著眼,轉身看向林辰。
啪!
他敬了一個標準的軍禮。
「晨光,我代表夏國,謝謝你。」
林辰回以微笑。
夏國在晶片領域終於有了自己的脊樑。
但這只是開始。